单芯片CMOS光学显微光谱仪

单芯片CMOS光学显微光谱仪(中文6000字,英文PDF)
J.H. Correia*，G.de Graaf，S.H.Kong，M. Bartek，R.F. Wolffenbuttel
摘要
  有许多应用像用于通过光学吸收和发射线表征的化学分析系统，将受益于可用的低成本单芯片光谱仪。 一种单芯片CMOS光学显微光谱仪包含了一个16阵列。可寻址的法布里 - 珀罗标准具(每个具有不同的谐振腔长度)光电检测器是用于读出复用的电路而且它制造了驱动串行总线接口。 结果就是一个芯片只能使用四个外部连接，包括(Vdd和Vss)。覆盖FWHM=18nm的可见光谱范围。 频率输出和串行总线接口，允许简单的多传感器使用微控制器或个人计算机的多芯片接口。 时钟的功耗为1250 uW频率为1MHz。©2000 Elsevier Science S.A.保留所有权利。

关键词：片上光学显微光谱仪; 微干涉仪; 法布里 - 珀罗标准具; 光 - 频转换器; 内部总线接口